Ovaj instrument koristi beskontaktnu interferometrijsku metodu mjerenja s optičkim faznim pomakom, ne oštećuje površinu izratka tijekom mjerenja, može brzo izmjeriti trodimenzionalnu grafiku površinske mikrotopografije različitih izradaka, te analizirati i izračunati mjerenje rezultate.
Opis proizvoda
Značajke: Prikladno za mjerenje hrapavosti površine raznih mjernih blokova i optičkih dijelova; dubina končanice ravnala i brojčanika; debljina prevlake strukture utora rešetke i morfologija strukture granice prevlake; površina magnetskog (optičkog) diska i magnetske glave Mjerenje strukture; mjerenje hrapavosti površine silikonske pločice i strukture uzorka, itd.
Zbog visoke točnosti mjerenja instrument ima karakteristike beskontaktnog i trodimenzionalnog mjerenja, te usvaja računalnu kontrolu i brzu analizu i izračunavanje rezultata mjerenja. Ovaj instrument je prikladan za sve razine ispitivanja i mjernih istraživačkih jedinica, industrijskih i rudarskih poduzećih za mjerenje, radionica za preciznu obradu, a također je prikladan za ustanove visokog obrazovanja i znanstveno-istraživačke ustanove, itd.
Glavni tehnički parametri
Mjerni raspon dubine površinskih mikroskopskih neravnina
Na kontinuiranoj površini, kada nema nagle promjene visine veće od 1/4 valne duljine između dva susjedna piksela: 1000-1nm
Kada postoji mutacija visine veća od 1/4 valne duljine između dva susjedna piksela: 130-1nm
Ponovljivost mjerenja: δRa ≤0.5nm
Povećanje objektiva: 40X
Numerička apertura: Φ 65
Radna udaljenost: 0,5 mm
Vidno polje instrumenta Vizualno: Φ0,25 mm
Fotografija: 0,13×0,13 mm
Vizualno povećanje instrumenta: 500×
Fotografija (promatrano ekranom računala)-2500×
Mjerni niz prijemnika: 1000X1000
Veličina piksela: 5,2×5,2µm
Vrijeme mjerenja Vrijeme uzorkovanja (skeniranja): 1S
Standardna refleksija zrcala instrumenta (visoka): ~50%
Reflektivnost (niska): ~4%
Izvor rasvjete: žarulja sa žarnom niti 6V 5W
Valna duljina filtera zelene interferencije: λ≒530nm
Poluširina λ≒10nm
Visina glavnog mikroskopa: 110 mm
Podizanje stola: 5 mm
Raspon kretanja u smjeru X i Y: ~10 mm
Raspon rotacije radnog stola: 360°
Raspon nagiba radnog stola: ±6°
Računalni sustav: P4, 2,8G ili više, 17-inčni zaslon ravnog zaslona s 1G ili više memorije